臺式電鏡能譜一體機是集成了掃描電子顯微鏡(SEM)和能量色散X射線光譜儀(EDS)功能的儀器設備。
(一)掃描電子顯微鏡(SEM)部分
1.電子束發(fā)射
-臺式電鏡通常采用場發(fā)射電子源或鎢絲電子源。場發(fā)射電子源通過在強電場作用下，從尖銳的發(fā)射體表面提取電子，其具有亮度高、電子束斑小等優(yōu)點，能夠提供高分辨率的圖像。鎢絲電子源則是依靠加熱鎢絲使其熱發(fā)射電子，成本相對較低，但電子束的亮度和穩(wěn)定性稍遜于場發(fā)射源。
2.電子加速與聚焦
-發(fā)射出的電子經(jīng)過陽極的加速作用，獲得較高的能量。然后通過電磁透鏡系統(tǒng)對電子束進行聚焦，使其形成細小的電子束斑。這些電磁透鏡類似于光學透鏡，能夠控制電子束的直徑和發(fā)散度，從而實現(xiàn)對樣品表面的準確掃描。
3.樣品掃描與信號收集
-聚焦后的電子束在掃描線圈的驅動下，對樣品表面進行逐點掃描。當高能電子束撞擊樣品時，會與樣品中的原子發(fā)生相互作用，產生多種信號，如二次電子、背散射電子等。二次電子信號主要反映樣品表面的形貌特征，其產額與樣品表面的幾何形狀有關，通過收集和處理二次電子信號，可以構建出樣品表面的三維形貌圖像。背散射電子信號則與樣品的原子序數(shù)有關，原子序數(shù)越高，產生的背散射電子越多，利用這一特性可以分析樣品的成分分布和晶體取向等信息。
(二)能量色散X射線光譜儀(EDS)部分
1.X射線產生
-當掃描電子束與樣品中的原子相互作用時，會使樣品中的內層電子被激發(fā)出來，留下空位。外層電子會躍遷到內層空位，同時釋放出X射線光子。不同元素的原子由于能級結構不同，會發(fā)射出具有特定能量的X射線，這些X射線就攜帶了樣品成分的信息。
2.X射線探測與分析
-EDS探測器通常采用硅鋰(Li-Si)半導體探測器。當X射線光子進入探測器時，會在半導體中產生電子-空穴對，這些電子-空穴對的數(shù)量與X射線的能量成正比。通過測量這些電荷的數(shù)量，就可以確定X射線的能量，進而識別出產生X射線的元素。EDS系統(tǒng)會對收集到的X射線信號進行處理和分析，以元素特征峰的形式呈現(xiàn)出來，從而確定樣品中的元素種類和相對含量。
臺式電鏡能譜一體機的使用注意事項：
1.環(huán)境要求
-保持干燥：避免儀器進水，確保周圍環(huán)境相對干燥，防止潮濕導致電氣故障和設備損壞。
-溫度適宜：保持實驗室的溫度在適宜范圍內，避免儀器受潮或過熱，影響儀器的性能和穩(wěn)定性。
-避免振動和電磁干擾：確保實驗室內無振動和電磁干擾，以保證儀器的正常運行和測量結果的準確性。
2.操作規(guī)范
-正確接地：確保電源和電氣線路的接地正常，以防止電氣泄露和觸電事故的發(fā)生。操作人員在操作儀器之前應先將手部與身體靜電耦合地接地。
-遵守操作流程：嚴格按照儀器的操作手冊進行操作，不得隨意更改操作步驟和參數(shù)，以免損壞儀器或影響測量結果。
-避免直接照射：在操作電鏡時，嚴禁向眼睛直接照射電子束，以防止輻射損傷。
3.樣品要求
-樣品制備：將待觀察樣品制作成薄片或放置到樣品架上，并將其安裝到設備中。注意避免樣品過厚或太大尺寸導致無法獲取有效圖像。
-樣品性質：確保樣品干燥、無磁性且不會對電鏡造成損害。對于含水、含油或腐蝕性的樣品，需要先進行處理再放入電鏡內。
-樣品固定：樣品應固定在樣品臺上，并確保平穩(wěn)和可靠地固定，避免因樣品脫落引發(fā)危險。
