飛納掃描電鏡能夠提供高分辨率，其分辨率可以達到幾個埃甚至更高。這主要得益于其能夠產(chǎn)生極細的電子束以及電子光學(xué)系統(tǒng)和信號檢測技術(shù)。高分辨率使得掃描電鏡能夠清晰地觀察到樣品表面的微小細節(jié)，如納米級別的顆粒、微納結(jié)構(gòu)的表面形貌等，為材料科學(xué)、生物學(xué)、物理學(xué)等領(lǐng)域的研究提供了有力的工具，有助于揭示材料的微觀結(jié)構(gòu)和性能之間的關(guān)系。
掃描電鏡具有較大的景深，這意味著即使在觀察具有一定粗糙度或高低起伏的樣品表面時，也能夠保持整個觀察區(qū)域清晰成像。相比之下，光學(xué)顯微鏡的景深較小，在觀察表面不平整的樣品時，往往會出現(xiàn)部分區(qū)域模糊不清的情況。掃描電鏡的大景深特點使其特別適合于觀察各種復(fù)雜形狀和表面形態(tài)的樣品，如生物組織的切片、多孔材料、集成電路芯片等，能夠展示樣品的表面特征，而不會因為景深限制而丟失細節(jié)信息。
與透射電鏡(TEM)不同，飛納掃描電鏡不需要將樣品制備成非常薄的切片或薄膜，可以直接觀察大塊的材料樣品。這是因為掃描電鏡主要是通過檢測樣品表面的信號來成像，而不是像透射電鏡那樣依賴電子透過樣品。這一優(yōu)點使得掃描電鏡在研究各種實際材料和應(yīng)用方面具有更大的靈活性，例如可以直接觀察金屬零件的斷口、陶瓷材料的斷面、高分子材料的表面等，無需繁瑣的制樣過程，且能夠更好地反映材料在實際使用狀態(tài)下的表面情況。
除了能夠提供高分辨率的表面形貌圖像外，飛納掃描電鏡還具備強大的成分分析功能。通過配備不同的探測器，如前述的特征X射線探測器和俄歇電子探測器等，可以在觀察樣品形貌的同時，對樣品中的元素成分進行定性和定量分析。這種將形貌觀察與成分分析相結(jié)合的能力，使得掃描電鏡在材料研究、地質(zhì)分析、文物鑒定等眾多領(lǐng)域具有特殊的優(yōu)勢。例如，在研究合金材料時，可以同時觀察合金的微觀組織結(jié)構(gòu)以及各相中的元素分布情況，從而深入了解合金的性能與成分及組織結(jié)構(gòu)之間的關(guān)系；在分析礦物樣品時，能夠確定礦物的種類以及其中各種元素的含量和分布狀態(tài)。
