1.樣品制備：對于光學顯微鏡部分，樣品通常需要透明；對于電子顯微鏡部分，樣品需要導電，并且要進行適當?shù)腻兡ぬ幚怼?/div>
2.光學系統(tǒng)調(diào)節(jié)：打開顯微鏡，調(diào)節(jié)光學系統(tǒng)，使樣品進入光學路徑，通過調(diào)整物鏡、目鏡和焦距等參數(shù)，獲得清晰的低分辨率整體像。
3.電子系統(tǒng)調(diào)節(jié)：激活電子系統(tǒng)，調(diào)節(jié)電子束的聚焦和樣品距離，使電子束準確地照射到樣品上，通過調(diào)整電子束的強度和聚焦，獲得清晰的高分辨率細節(jié)像。
4.圖像采集與分析：通過顯微鏡的成像系統(tǒng)，采集光學和電子像，然后利用附帶的圖像分析軟件，對圖像進行放大、旋轉(zhuǎn)、測量等處理和分析。
5.結(jié)果記錄與報告：根據(jù)觀測結(jié)果，記錄和報告樣品的光學電子顯微鏡圖像和分析結(jié)果。
