飛納掃描電鏡是一款使用高亮度CeB6燈絲的高分辨臺(tái)式掃描電鏡。放大倍數(shù)350，000倍，用于觀察納米或者亞微米樣品的微觀結(jié)構(gòu)。
一、掃描電鏡樣品的基本要求：
1、導(dǎo)電性能好，樣品在電子束反復(fù)掃描下表面電位不會(huì)升啊，避免電荷效應(yīng)；
2、熱穩(wěn)定性能好，電子束溫度較高，導(dǎo)熱性差的樣品在觀察時(shí)會(huì)漂移，圖像不穩(wěn)定有些熱敏感材料會(huì)損傷，觀察部位起泡、龜裂、出現(xiàn)空洞；
3、二次電子和背散射電子產(chǎn)率高；
簡(jiǎn)單的說：
1、樣品的導(dǎo)電性
2、樣品的尺寸
3、樣品的清潔干燥
4、粉末樣品的固定
5、組織、夾雜物試樣的制備
因DBSD的樣品分析時(shí)要傾斜70°等特性，EBSD的樣品制備要求更高一些，表面平整、清潔、無(wú)殘余應(yīng)力；需要絕對(duì)的取向數(shù)據(jù)時(shí)，樣品外觀坐標(biāo)系要準(zhǔn)確，尺寸約為1-3CM或稍小一些。
二、樣品的制備：
1、試樣的鑲嵌
什么時(shí)候鑲嵌：
a、在看邊緣信息時(shí)
b、試樣太小或者形狀很不規(guī)則時(shí)
鑲嵌類型分以下兩種：
熱鑲嵌法：首先要保證發(fā)生熱固化或熱塑性的溫度不會(huì)導(dǎo)致被鑲嵌試樣組織發(fā)生變化。通常推薦熱鑲嵌方式。
冷鑲嵌法：環(huán)氧樹脂或丙烯酸樹脂
2、試樣的清潔
樣品受污染或SEM受到污染會(huì)導(dǎo)致圖像質(zhì)量變差，所以清潔樣品很重要，可用吸耳球吹或者將樣品放入丙酮或者酒精中，超聲清潔至少10秒。
3、試樣的磨拋
飛納掃描電鏡產(chǎn)品參數(shù)：
光學(xué)顯微鏡：放大20-135倍
電子顯微鏡：350，000倍
探測(cè)器：高靈敏度四分割背散射電子探測(cè)器
燈絲材料：1，500小時(shí)CeB6燈絲
分辨率：優(yōu)于6nm
放置環(huán)境：采用專業(yè)防震設(shè)計(jì)，可擺放于普通實(shí)驗(yàn)室或辦公室、廠房
加速電壓：5kV-15kV連續(xù)可調(diào)
抽真空時(shí)間：小于15秒
