飛納臺式掃描電鏡-自動化質(zhì)控解決方案

為質(zhì)控與研發(fā)打造的自動化臺式掃描電鏡

Phenom XL G3 飛納臺式掃描電鏡-自動化質(zhì)控解決方案是 Thermo Scientific 旗下的旗艦級臺式掃描電鏡平臺，基于飛利浦—FEI—賽默飛近 80 年電鏡技術(shù)積淀打造。其穩(wěn)定可靠、易部署、自動化程度高，專為 生產(chǎn)質(zhì)控、高通量檢測與研發(fā)場景 而設(shè)計(jì)。

• 大倉室設(shè)計(jì)，可容納 36 個樣品

• 1 分鐘完成裝樣到出圖

• 自動化、AI 分析、能譜一體化

• 3000h CeB6 燈絲，平均 5 年更換一次

適用于金屬、電子陶瓷、半導(dǎo)體、粉末、濾膜、電池材料等多行業(yè)。

⭐ 核心優(yōu)勢（強(qiáng)轉(zhuǎn)化模塊）

01｜80 年電鏡技術(shù)傳承，全（quan）球超 5000 臺裝機(jī)

從飛利浦電鏡部門到 FEI，再到 Thermo Scientific，Phenom 系列代表了領(lǐng)（ling）先的電鏡設(shè)計(jì)與制造標(biāo)準(zhǔn)。

• 1939 年：Le Poole 提出電鏡構(gòu)想

• 1944 年：150kV 電子顯微鏡問世

• 1972 年：第1臺飛利浦 SEM

• 2006 年：首（shou）臺臺式 SEM —— Phenom 誕生

• 至今：形成臺式 CeB6 / 臺式場發(fā)射 / 行業(yè)專用電鏡多線產(chǎn)品矩陣

02｜無需改造實(shí)驗(yàn)室：隨放隨用，省心省錢

• 內(nèi)置減震系統(tǒng)

• 對環(huán)境要求低，不用暗室、不用水冷

• 適用于生產(chǎn)車間、QC 實(shí)驗(yàn)室、高樓層辦公區(qū)

• 甚至支持車載、野外現(xiàn)場使用

曾參與冰島火山口、西班牙無人島等地質(zhì)科考任務(wù)，驗(yàn)證其jiduan環(huán)境可靠性。

03｜ CeB6 燈絲：3000 小時壽命，5 年一換

• 高亮度六硼化鈰（CeB6）燈絲

• 平均 5 年更換一次，7×24 小時連續(xù)運(yùn)行無壓力

• 維護(hù)成本極低，適合產(chǎn)線與長期實(shí)驗(yàn)使用

對比普通金屬燈絲壽命多為 50–200 小時，性價(jià)比優(yōu)勢明顯。

04｜低電壓成像：不噴金也清晰

Phenom XL G3 采用全新真空結(jié)構(gòu) + 升級背散射探測器 (BSD)：

• 低電壓（2–5 kV）下信噪比更高

• 對非導(dǎo)電與敏感樣品無需噴金

• 自動化流程中，成像效率提升 約 30%

適用樣品： 纖維、紙張、涂層、聚合物、電子陶瓷、CMOS、太陽能電池等。

太陽能電池金字塔結(jié)構(gòu)

 放大倍數(shù)：10,000X

 2kV，未噴金，二次電子像

 可以清晰看到金字塔結(jié)構(gòu)和細(xì)節(jié)

電子陶瓷

 放大倍數(shù)：1,000X

 5kV，背散射電子像

 可以觀測到陶瓷內(nèi)晶粒大小和空隙 

CMOS 探測器

 放大倍數(shù)：5,000X

 2kV，二次電子像

 可以清晰看到像素單元及其表面污染物

掃描電鏡下未噴金的纖維（上圖），未噴金的紙張（下圖）

05｜工業(yè) 4.0 自動化平臺：支持 AI & Python 腳本

1 分鐘從上樣到出圖

檢測通量比傳統(tǒng)電鏡提升 5–10 倍。

自動化分析軟件

• ParticleMetric：顆粒統(tǒng)計(jì)

• FiberMetric：纖維尺寸分析 

• 批量輸出標(biāo)準(zhǔn)報(bào)告，實(shí)現(xiàn)真正量化質(zhì)控

  

   

  從“看"到“算"：專業(yè)的自動化分析軟件，ParticleMetric   (顆粒統(tǒng)計(jì))、Fiber- Metric (纖維統(tǒng)計(jì)) 等專用軟件。自動化完成需要人工數(shù)小時才能完成的顆粒 度、形貌、尺寸分布等統(tǒng)計(jì)工作，輸出標(biāo)準(zhǔn)化報(bào)告，實(shí)現(xiàn)真正的量化品控。

  
  

開放編程接口（PPI）

• 支持 Python 腳本

• 可對接生產(chǎn)線、LIMS 系統(tǒng)

• 支持夜間無人值守批量檢測

• 

  “深度集成，隨需而變"：開放的自動化接口，提供 Python 腳本控制 (PPI)，可以無 縫集成到客戶現(xiàn)有的自動化產(chǎn)線和 LIMS 系統(tǒng)中。精準(zhǔn)的自動化馬達(dá)臺，結(jié)合軟件 腳本，一次可容納 36 個樣品，打造“無人值守的質(zhì)檢工廠"，自定義設(shè)定程序，在夜 間或休息時間對大批量樣品進(jìn)行自動拍照和分析，提高設(shè)備利用率。

大樣品全景拼圖（MAPS）

  一 張圖看全貌，多點(diǎn)分析無遺漏

在晶圓、濾膜、金屬斷口等大樣品上，自動獲取全景高清圖，并對預(yù)設(shè)的關(guān)鍵點(diǎn)位進(jìn)行高倍率分析，確保檢測全面。

06｜能譜一體化設(shè)計(jì)：一套軟件做成像 + 元素分析

無需切換軟件，不丟數(shù)據(jù)，易培訓(xùn)，售后統(tǒng)一。

ChemiSEM 實(shí)時彩色成像

• 成像與能譜同步采集

• 實(shí)時彩色元素分布顯示

• 適用于金屬、陶瓷、電池、涂層、半導(dǎo)體等材料

     

  ChemiSEM 彩色成像技術(shù)

ChemiPhase 物相分析

• 自動識別物相

• 輸出相組成及面積分?jǐn)?shù)

• 對復(fù)雜材料（如電池正極、陶瓷、冶金）特別友好

  

    ChemiPhase 物相分析軟件

Phase Mapping 相分布圖

• 基于像素級定量元素分析

• 自動識別多個材料相

  

    Phenom MAPS 大面積圖像拼接

規(guī)格參數(shù)

成像模式

• 光學(xué)顯微鏡：3–16×

• 電子顯微鏡：200,000×

照明系統(tǒng)

• CeB6 鏡筒燈絲

• 加速電壓：2/5/10/15/20 kV（可連續(xù)調(diào)節(jié)）

• 真空：低-中-高模式

性能

• 分辨率：優(yōu)于 8 nm

• 抽真空時間：30 秒

載物臺

• 大倉室，可支持大尺寸樣品

• 最多容納 36 份樣品自動檢測

適用行業(yè)

• 金屬材料分析 / 冶金質(zhì)檢

• 電池與材料研發(fā)

• 電子陶瓷 / 半導(dǎo)體 / 元器件

• 粉末材料篩選

• 濾膜顆粒物、纖維統(tǒng)計(jì)

• 表面研究、涂層分析

• 高校與科研機(jī)構(gòu)

為什么選擇 Phenom XL G3？

• 國際品牌技術(shù)傳承（飛利浦 → FEI → 賽默飛）

• 真正的工業(yè) 4.0 級自動化臺式電鏡

• 支持 AI、Python、無人值守檢測

• 全套能譜 + 成像一體化解決方案

• 大樣品、大通量質(zhì)控

• 平均5年換燈絲，使用成本極低